点击图片查看原图
HVA 长寿命严厉过程真空闸阀 71000 系列
上海伯东美国 HVA 长寿命严厉过程真空闸阀 71000 系列是专为最苛刻的真空环境而设计. HVA 真空闸阀 71000 系列由坚固的不绣钢刚坯在 1100°C, 1x10-6 mbar 条件下加工成形, 真空闸阀两侧密封的门上双密封设计, 阀门内部几乎没有移动部件, 最大限度减少粒子的生成. 免维护设计(不绣钢波纹管与工艺过程分离). 适用于 MOCVD, ALD, PECVD 等典型的严酷的应用.
HVA 长寿命严厉过程真空闸阀 71000 系列特性:
易于系统集成, 几乎满足所有应用
不绣钢波纹管与工艺过程分离 - 免维护
真空闸阀坚固的双重密封设计和低粒子
使用寿命 > 250,000 cycles 启闭次数
高压和机械加工的不锈钢阀体
真空闸阀口径 DN 50-200 mm
手动或气动控制
标准法兰口 KF, ISO, CF, ANSI, JIS 或客户定制
真空闸阀最大烘烤温度 250°C
全部美国设计, 制造, 组装, 原装进口
HVA 长寿命严厉过程真空闸阀 71000 系列参数:
|
阀门材质: |
|
|
- 阀门主体 |
304 不锈钢 |
|
- 焊接波纹管轴封 |
AM - 350 |
|
阀门密封方式 |
|
|
- 高真空 |
氟橡胶 |
|
真空: |
|
|
- 压力范围 |
高真空 1x10-9 mbar |
|
- 漏率 |
< 2x10-9 mbar l/S |
|
- 差压关闭 |
2 bar (任意位置) |
|
- 开启前最大压力 |
≤ 1 bar |
|
烘烤温度（不含电磁阀）: |
|
|
- 佛橡胶密封 |
150 °c, 可选配置最大 250 °c |
|
- 驱动方式 |
手动 60 °c, 气动 60 °c |
|
- 气体 |
80 psig (5.5 bar) |
|
- 电磁 |
4.0 Watts |
|
- 供电 |
120 VAC 50 /60 Hz |
|
- 可选电压 |
24, 200, 240 VAC 50/60 Hz |
|
- 位置指示器,最大 |
115 VAC |
|
使用寿命: > 250,000 启闭次数 (具体视实际使用情况决定) |
|
|
公称通径: DN 50 - 200 mm |
|
HVA 长寿命严厉过程真空闸阀 71000 系列部件图:
若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式：
上海伯东: 罗女士 台湾伯东: 王女士
T: +86-21-5046-3511 ext 108 T: +886-03-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-03-567-0049
M: +86 152-0195-1076 M: +886-939-653-958
上海伯东版权所有, 翻拷必究！
