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美国 HVA 真空闸阀 21200 系列
美国 HVA 百万周期真空闸阀 21200 系列特别适合 1x10- 9 mbar 高真空和烘烤温度不超过 150°C的应用。超长使用寿命1,000,000 启动次数。清洁和高密封性保证 HVA 进口阀门与低温泵、涡轮分子泵，离子泵等完美联用。
HVA 百万周期真空闸阀 21200 系列产品特点
直线驱动允许使用焊接波纹管来密封驱动器。独特的气缸设计使冲击和振动减少到最小。HVA 百万周期真空闸阀 21200 系列真空腔内没有机械锁，因此特别适合应用于半导体制造和其他要求低振动的敏感加工工业。所有移动的接头都有硬轴有效减少微粒的产生并且使驱动更容易。HVA 不锈钢阀体真空闸阀提供了真空阀门业界最小的内部表面区域。阀体和所有内部部件都是在1100 ℃，1x10E-6 Torr的真空炉中一体钎焊完成，确保了阀门的最大完整性。 在保养方面，支架部分可以拆掉而不用把真空阀门从整个系统中拆卸出来。阀门手动、气动可选，标准或定制法兰满足不同应用。HVA 标准周期真空闸阀21200 系列可任意位置安装。电磁阀控制并带有手动超控。
HVA 百万周期真空闸阀 21200 系列技术参数
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阀门材质： |
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阀门主体 |
304不锈钢 |
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焊接波纹管轴封 |
AM-350 |
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驱动轴和驱动销 |
硬质不绣钢 |
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密封件 |
氟橡胶 |
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真空： |
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压力范围 |
1x10-9 mbar |
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漏率 |
< 2x10-9 mbar l/S |
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差压关闭 |
1 bar (任意位置) |
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开启前最大压力 |
≤ 30 mbar |
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烘烤温度（不含电磁阀）： |
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佛橡胶密封 |
150 °c |
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驱动方式 |
手动 60 °c;气动 60 °c |
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使用寿命：1,000,000启闭次数 |
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公称通径：DN16-320 mm |
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HVA 百万周期真空闸阀 21200 产品部件图
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